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產(chǎn)品資料

光伏芯片擴(kuò)散制程上下貨及檢測(cè)系統(tǒng)

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 光伏芯片擴(kuò)散制程上下貨及檢測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào): Model 3775
產(chǎn)品展商: Chroma
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

通常用于芯片磷擴(kuò)散的爐管制程。在擴(kuò)散制程中致茂可提供客戶使用短版的晶舟， 或長(zhǎng)版晶舟來(lái)上下載具的傳輸設(shè)備。芯片的傳送使用高速富撓性的取放機(jī)器人。致茂在擴(kuò)散過程中提供的載具傳輸設(shè)備，低破片率，高產(chǎn)量和低成本可滿足客戶的擴(kuò)散制程功能要求。


光伏芯片擴(kuò)散制程上下貨及檢測(cè)系統(tǒng)  的詳細(xì)介紹
 
主要特色：
  • 低破片率
  • 高產(chǎn)量
  • 機(jī)器人傳送取放
  • 表面檢查：選配
  • 上貨載具：石英晶舟
  • 下貨載具：Manz盒 / Cassette(選項(xiàng))
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